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供應AALBORG氣體流量計

  產品特點:性價比高、響應速度快、可靠性高,易于集成、環路保護、備總量計數器
  典型應用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
  設計特點:
  -剛性金屬結構
  -流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm
  -*大壓力500psig(34.5Bar)
  -泄漏率1*10-7氦氣
  -NIST系統標定可追蹤的證明
  -可傾斜的LCD讀表
  -0-5Vdc或4-20mA信號輸出
  -電路保護
  -可用作便攜式的設備
  -0到100比例顯示
  -可配備流量計算機
  精度:±1.5%滿量程,包括59℉到77℉的氣體溫度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的壓力。可選±1%滿量程(標定精度),在給定的溫度與壓力值條件下。
  重復性:±0.5%滿量程
  回應時間:實際流速±2%超過滿量程25-100一般2秒
  溫度系數:0.15%滿量程/℃
  壓力系數:0.01%滿量程/psi(0.07bar)
  氣體/周圍溫度:32℉-122℉(5℃-50℃)
  輸出信號:0-5Vdc,*小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻
  傳感器輸出:+12Vdc;*大200Ω。+24Vdc可選
  時間恒量:800ms


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