美國INFICON電子檢漏儀
INFICON檢漏儀 電子檢漏儀
· 用組合法拉*杯/電子倍增器的各種原子質量單位范圍
· 自動EM增益調整
· 九十年的動態范圍
· 自動調諧質量位置和分辨率
· 可變的駐留時間優異的信號噪聲比
· 5E-15乇MDPP（100 AMU版）
 
INFICON檢漏儀 電子檢漏儀
典型應用:
· 氦檢漏各種工具模塊
· 模塊的條件進行預防性維護監測
· 記錄數據后預防性維護
· 率上升的測量
· 背景狀態監測